GJTJ-2B機械式二維工件台
1.技術參數
l X向行程： 5mm到50mm可定製
l Y向行程： 5mm到50mm可定製
l 重複定位精度：±40nm（±3σ）
l 分辨力：8nm
l 直線性：3″
l 正交性；3″
2.配置
（1）機械係統
l 電機2個：日本樂孜步進電機（伺服電機可選）
l 絲杠2根：日本THK公司產品
l 導軌1個：自製精密方導軌
l 光柵2根：美國Micro-E產品（分辨力50nm，帶零位光柵）
l 多自由度光柵讀數頭調整座2個
l 軸承4個（零級）
l 軸承座2個
l 電機座2個
l 工作台麵：航空超硬鋁（7050）
l XY向基座：航空超硬鋁（7050）
l 聯軸器2個：日本NBK公司產品
l 限位開關4個
l 球頭帶動結構2套
l 調整手輪2個
（2）電控係統
l 多軸運動控製板
l 通用RS-232通訊接口
l 高細分、低振動步進電機驅動器
l 模塊化開關電源適配器
l 高精度零位測控係統
l 高精度光柵計數測量係統
l 高可靠軟硬件限位保護係統
l 抗幹擾、高可靠複位電路係統
l 便攜式手提控製箱
l 采用屏蔽雙絞線纜，有效抑製靜電感應及電磁感應幹擾。
（3）軟件係統
l 人性化計算機控製界麵程序（提供安裝光盤，可定製）
l 高精度位置伺服複合控製程序