GJTQ-A氣浮式工件台
1.技術參數
l X向行程：150mm、250mm等並可定製
l Y向行程：150mm、250mm等並可定製
l Z向行程：2mm
l θx向行程：±0.6°
l θy向行程：±0.6°
l θz向行程：±0.3″
l X重複定位精度：±300nm（±3σ）
l Y重複定位精度：±300nm（±3σ）
l Z重複定位精度：±300nm（±3σ）
l X向分辨力：100nm
l Y向分辨力：100nm
l Z向分辨力：100nm
l 運動偏擺：＜1″
l 運動速度：500mm/s
l 氣浮剛度：1000N/μm
2.配置
（1）機械係統
l 直線電機3個：荷蘭Tecnotion公司產品（美國Parker公司產品可選）
l 伺服電機3個：瑞士Maxon公司產品
l 光柵6套：奧地利RSF公司產品
l 液壓緩衝器6個：日本SMC公司產品
l 大理石基座1個(雙零級)
l 大理石導向調石1根(雙零級)
l 對衝式導向氣浮墊8個
l 直線電機動子連接板3個（航天超硬鋁，7050）
l X向氣浮導軌1根（航天超硬鋁，7050）
l Y向氣浮導軌2根（航天超硬鋁，7050）
l Z向承重氣浮導軌1根：自主研製的無摩擦、高剛度氣浮導軌
l Y向導向橫梁1根（航天超硬鋁，7050）
l Z向導向簧片1個
l 凸輪驅動機構3套
l 真空預載氣足1個
l 工作台麵1個（航天超硬鋁，7050）
l 限位開關4個
l 氣路係統1套
l 線纜盒2個
（（2）電控係統
l 高性能多軸運動控製卡
l 運動控製卡可控製1-3軸伺服電機、步進電機
l 運動控製卡可提供3路模擬控製信號和3路脈衝+方向控製信號
l 運動控製卡集成PCI和RS-232通訊接口
l 運動控製卡集成光柵計數測量模塊，可接收20MHz編碼器信號
l 模塊化開關電源適配器
l 高精度零位檢測係統
l 高可靠軟硬件限位保護係統
l 抗幹擾、高可靠複位電路係統
l 便攜式手提控製箱
l 采用屏蔽雙絞線纜，有效抑製靜電感應及電磁幹擾。
（3）軟件係統
l 人性化計算機控製界麵程序（提供安裝光盤，可定製）
l 高精度位置伺服複合控製程序
（4）附件
l 產品操作說明書（同時提供電子版）