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GJTQ-B氣浮式宏微工件台
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發布日期:2020-05-20
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詳細介紹

GJTQ-B氣浮式工件台

1.技術參數

l X向粗動行程:150mm、250mm等並可定製

l Y向粗動行程:150mm、250mm等並可定製

l Z向粗動行程:3mm

l θx向粗動行程:±0.6°

l θy向粗動行程:±0.6°

l θz向粗動行程:±0.3″

l X向微動行程:40μm

l Y向微動行程:40μm

l Z向微動行程:20μm

l θx向微動行程: ±25″

l θy向微動行程:±25″

l θz向微動行程: ±1.5′

l X重複定位精度:±300nm(±3σ)

l Y重複定位精度:±300nm(±3σ)

l Z重複定位精度:±300nm(±3σ)

l 分辨力:1.2nm

l 運動偏擺:<1″

l 運動速度:500mm/s

l 氣浮剛度:1000N/μm

l 方鏡正交性:≤0.1

2.配置

(1)機械係統

l 直線電機3個:荷蘭Tecnotion公司產品(美國Parker公司產品可選)

l 伺服電機3個:瑞士Maxon公司產品

l 壓電陶瓷驅動器6個:德國PI公司產品

l 光柵6套:奧地利RS公司產品

l 液壓緩衝器6個:日本SMC公司產品

l 雙頻激光幹涉儀1套:英國Renishaw公司產品

l 大理石基座1個(雙零級)

l 大理石導向調石1根(雙零級)

l 直線電機動子連接板3個(航天超硬鋁,7050)

l 對衝式導向氣浮墊8個

l X向氣浮導軌1根(航天超硬鋁,7050)

l Y向氣浮導軌2根(航天超硬鋁,7050)

l Z向承重氣浮導軌1根:自主研製的無摩擦、高剛度氣浮導軌

l Y向導向橫梁1根(航天超硬鋁,7050)

l Z向導向簧片1個

l 微動垂向簧片1個

l 微動台基座1個(航天超硬鋁,7050)

l 凸輪驅動機構3套

l 真空預載氣足1個

l 工作台麵1個(航天超硬鋁,7050)

l 三自由度柔性鉸鏈1個

l 精密方鏡1個

l 限位開關4個

l 氣路係統1套

l 線纜盒2個

(2)電控係統

l 高性能多軸運動控製卡

l 運動控製卡可控製1-3軸伺服電機、步進電機

l 運動控製卡可提供3路模擬控製信號和3路脈衝+方向控製信號

l 運動控製卡集成PCI和RS-232通訊接口

l 運動控製卡集成光柵計數測量模塊,可接收20MHz編碼器信號

l 模塊化開關電源適配器

l 高精度零位檢測係統

l 高可靠軟硬件限位保護係統

l 抗幹擾、高可靠複位電路係統

l 便攜式手提控製箱

l 采用屏蔽雙絞線纜,有效抑製靜電感應及電磁幹擾。

(3)軟件係統

l 人性化計算機控製界麵程序(提供安裝光盤,可定製)

l 高精度位置伺服複合控製程序

(4)附件

l 產品操作說明書(同時提供電子版)

2.配置

l 導軌:自主研製的無摩擦、高剛度氣浮導軌(氣浮剛度達1000N/μm以上)

l 電機:荷蘭Tecnotion公司直線電機,美國Parker公司直線電機,瑞士Maxon公司伺服電機,德國PI公司壓電陶瓷。

l 光柵:奧地利RS公司光柵,安捷倫雙頻激光幹涉儀



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