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KW-5型台式勻膠機
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發布日期:2020-05-20
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詳細介紹

KW-5型台式勻膠機

中國半導體行業協會CSIA推薦中國著名品牌 SIYOUYEN?

台式勻膠機:(Spin Coater)適合半導體矽片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導體大型晶圓矽片,芯片,晶片,基片,液晶片,華陽板等各種膠體的工藝製版表麵塗覆或光刻工藝勻膠。

詳細介紹: 勻膠機(英文名:Spin Coater)

行業俗稱:勻膠台,甩膠機,塗膠機,鍍膜機,塗層機,旋塗機,旋塗儀等。

型號MODEL KW-5型

產品概述:

SIYOUYEN品牌KW型勻膠機適應於半導體矽片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,製版的表麵塗覆.

勻膠機穩定的轉速和快速的啟動,可以保證半導體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是KW型均勻膠機的特點.

該機在這方麵采取了許多措施:

(一)該設備采用美國先進技術,采用進口配件(韓國定子和轉子,美國電機)

(二)定子和轉子分開供電.定子用穩定電源供勵磁電流,轉子用開關電源調速,它比可用控矽調速優越得多,轉速在1000~5000轉/分範圍內非常穩定.

(三)本勻膠機有兩個轉速.在啟動之後,先以低速運轉,使膠攤開,然後自動變到高速運轉.兩種轉速及相應的時間分別可調.

(四)本勻膠機測速采用光電的辦法,在光電測速盤的邊上有三個缺口,(反射帶和吸收帶)分布於盤的周圍,盤邊的下麵安裝有光電開關,光源照到光電經反射到接收器,產生光電脈衝,測速盤旋轉一周,產生三個脈衝.閘門由秒脈衝電路產生,周期為兩秒.當馬達旋轉時,如果計時器在2秒內計的得數是n,則每分鍾應該轉了n/(2x3)=n/6轉,每分鍾旋轉(n/6)x60=10n轉.故計數器就是每分鍾轉速,隻不過差一個數量級.

(五)"吸片"采用電磁閥控製氣路,這樣適合流水線的工藝,一個氣泵可同時帶幾個勻膠機工作,提高了效率.

(六)勻膠機的定時功能由時基電路556來完成,把556按單穩形式連接,改變RC常數,就可以改變兩個勻膠時間.

(七)智能型調節勻膠時間,時間分別控製在1~18秒和3秒~1分鍾.

(八)在安裝結構上,采取了減振措施,保證了在運轉時噪音很低,保證塗覆表麵均勻,保證通過調節轉速調節塗覆厚度.

(九)勻膠機配真空泵使用(KW-5型勻膠機 推薦使用雙級無油環保真空泵 SML-140型)

1,特點是雙轉速勻膠機,兩檔轉速及勻膠時間分別連續節,在啟動後先低速運轉,經幾秒鍾後轉換到高速運轉.

Ⅰ檔 調速範圍:500 -1000轉/分 Ⅰ檔 勻膠時間:2-18秒

Ⅱ檔 調速範圍:1000-5000轉/分 Ⅱ檔 勻膠時間:3-60秒

2,進口轉子,穩定性能更好,轉速調節以數字顯示為準.

3,LED數字顯示,轉速穩定度:±1% ,膠的均勻性:±3% .

4,三相電源:380V

5,電機功率:180W

6,適用:Φ100-Φ200mm(4”~~8”)矽片及其它材料等勻膠.

7,真空泵抽氣速率 ≥1200升/分

8,設備尺寸:500×500×460 mm


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