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URE2000/35A型自動光刻機
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發布日期:2020-05-20
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詳細介紹

單麵自動紫外光刻機

型號:URE-2000/35A

簡單介紹:光刻機:(英文名:Mask ALIGENER)又名曝光機, 該型號光刻機創新采用三柔性支點實現高精度自動調平;真空接觸自動曝光;樣片升降、調平、接觸、曝光、複位實現自動化控製;采用創新技術積木錯位蠅眼透鏡實現高均勻照明;可連續設定分離間隙;采用雙目雙視場顯微鏡實現高對準精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。

一.技術特征——非常適合工廠(效率高,操作傻瓜型,自動型)和高校教學科研(可靠性好,演示方便)采用創新技術——積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應和實現均勻照明;

1、采用三爪和球氣浮同時找平,無論大片、小片調平精度均高;

2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能;

3、自動分離對準間隙和消除曝光間隙,間隙分離可達500μm;

4、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程,並提供USB輸出;既滿足高精度對準,又可用於檢測曝光結果,且曝光結果和方便存儲;

5、電機機構、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重複性好;

7、曝光波長采用純淨365nm,冷光照明(曝光麵能量15mW/cm ,溫度小於30度);

8、對準完成,自動消除曝光間隙,無橫向漂移且可通過監視器觀察;

9、快門可以單獨開啟,也可以數字設定自動倒計時曝光(設定範圍0.1s-9999.9s);

10、采用350W進口(德國)直流汞燈,可調節光的能量密度;

11、汞燈具有高亮度和“待機”兩種方式,即曝光時采用高亮度照明,而不曝光時采用低亮度的“待機”,從而延長了汞燈壽命。

12、設備外形美觀精製,性能非常可靠;

13、上下片、版十分方便,自動化程度很高,操作簡便。

二.技術參數

1、曝光麵積:150mm×150mm

2、分辨力:1μm(膠厚2mm的正膠)

3、對準精度::±0.5μm

4、掩模樣片整體運動範圍:X:6mm;Y:6mm

5、掩模尺寸:2.5寸、3寸、4寸、5寸

6、樣片尺寸直徑Ф15mm--Ф100mm(可適應非標準片或碎片)

7、厚度0.1mm-6mm(可擴展為15mm)

8、照明均勻性:±3.5%(Ф100mm範圍)

9、掩模相對於樣片運動行程: X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度

10、汞燈功率:350W(直流)

11、曝光波長:365nm(進口汞燈)

12、曝光能量密度:25mW/cm 可以根據需要增強或調弱(420nm以上波長小於0.1mW/cm )

13、曝光方式:定時(到計時方式0.1s—9999.9s)

應用領域

集成電路芯片、電子封裝、微電子機械係統、微光學元件、紅外探測器生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻,波導陣列光刻、液晶顯示聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤刻劃等

URE係列紫外光刻機係我公司重點推薦產品

曾出口:新加坡,韓國,朝鮮,緬甸,老撾等


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