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TYG-2000/T1步進投影光刻機
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發布日期:2020-05-20
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詳細介紹

TYG-2000/T1步進投影光刻機

曝光場麵積:10mm×10mm

分辨力:1μm;

照明不均勻性:±2%

物鏡倍率:5倍(縮小)

光源:350W球形汞燈(曝光譜線: i線)

基片尺寸:3 英寸 、4 英寸

工件台運動範圍:X:>150mm、 Y:>150mm;

工件台運動定位精度:±0.65μm

調焦台運動靈敏度:1μm

對準精度:±0.5μm

調焦台運動行程:5mm

檢焦:CCD檢測,檢測精度0.5微米

轉動台行程:±4°以上

基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(並可適應非標準片或碎片),厚度:0.1mm--5mm

主要技術配置:

(1)照明係統:冷光橢球鏡; 350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗); XYZ汞燈調節台; 光學係統:固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風扇

(2)工件台係統:X台:電機驅動器(日本樂孜)、絲杠(日本NSK)、導軌2(日本THK)、光柵(美國) Y台:電機及驅動器(日本樂孜)、絲杠(日本NSK)、導軌2(日本THK)、光柵2(美國) 轉動台:電機及驅動器(日本樂孜),轉動軸係 調平台:電機及驅動器(3套)、調平機構 Z台:電機及驅動器(日本樂孜)、絲杠、上升導向機構; 承片台:3英寸(可增加4英寸、2英寸、1英寸等)

(3)檢焦係統:焦麵光學檢測係統、CCD、焦麵檢測軟件

(4)對準係統:對準光學檢測係統(2套)、CCD(2套)、對準軟件

(5)電控係統:汞燈電源及觸發器、主機控製係統、軟件、計算機、顯示器、接口

(6)其他部件:底座 減震器(4個);控製櫃桌;氣動係統;電磁閥、旋轉氣缸、減壓閥、壓力表、真空表

(7)其他附件:真空泵一台(無油泵);空壓機一台(靜音泵);管道


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