歡迎訪問亚搏手机版APP 官方網站!
全國服務: 13761297466
上海:021-51089942
北京: 010-59797246
位置:首頁 > 產品展示
URE2000/17型單麵紫外光刻機
產品型號:
產品產地:
發布日期:2020-05-20
瀏覽次數:
谘詢電話:021-51089942
關 鍵 詞:
下一個產品 上一個產品

詳細介紹

單麵紫外光刻機

型號:URE-2000/17

簡單介紹:光刻機:(英文名:Mask ALIGENER)又名曝光機, 該型號光刻機創新采用采用雙目雙視場顯微鏡對準;球碗調平,單片機控製,觸摸開關,操作方便、實用性強。整機具有性能可靠、操作方便等特點。

一.技術特征

1、采用國內獨創的多點梯形反射鏡聚光和實現均勻照明,具有高的能量收集率和高均勻性照明性;

2、采用進口直流高壓汞燈,光功率穩定;

3、采用i線(365nm)紫外曝光光源,波長單一,光譜純淨;

4、高倍率雙目雙視場CCD顯微鏡和22英寸寬屏液晶,可同時觀察對準過程,適用大視場高倍率對準;

5、采用薄膜開關操作,數字設定曝光時間,倒計時數顯,曝光量可精確控製;

6、配置無油真空泵,無汙染,噪音小;

7、關鍵器件采用進口國際品牌產品,整機可靠性高。

二.技術參數

1、曝光麵積:110mm×110mm

2、曝光波長:365nm(純淨光源)

2、分辨力: 1.5μm

3、對準精度::± 1μm

4、掩模樣片整體運動範圍:X:6mm;Y:6mm

5、掩模尺寸:2.5寸、3寸、4寸、5寸

6、直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm);

7、照明均勻性:±5%

9、掩模相對於樣片運動行程: X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度

10、汞燈功率:200W(直流、德國歐司朗)

11、曝光量設定:定時曝光 定時(到計時方式 0.1s-9999.9s任意設定、設定精度0.1s)

12、雙目雙視場顯微鏡:物鏡三隊:4X、10X、20X,目鏡三對:10X、16X、20X

應用領域

集成電路芯片、電子封裝、微電子機械係統、微光學元件、紅外探測器生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻,波導陣列光刻、液晶顯示聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤刻劃等

URE係列紫外光刻機係我公司重點推薦產品

曾出口:新加坡,韓國,朝鮮,緬甸,老撾等


官方網址

微信公眾號
上海辦公室
地    址:上海市普陀區金邁路1號上海陸交中心大廈411室  
聯係人:周經理
手 機:18616884288
電 話:021-51089942 51863098
傳    真:021-51564099
郵    箱:siyouyen@163.com  

北京辦公室
地 址:北京市房山區月華大街1號盛通廣場8樓
聯係人:曹經理
手 機:15201545018
電 話:010-59797246 59795046
傳 真:010-52282969
郵 箱:siyouyen@126.com

Copyright  ©  2020-2030   亚搏手机版APP   All Rights Reserved.   騰雲建站僅向商家提供技術服務 網站地圖 備案號:滬ICP備16030867號-3
Baidu
map