歡迎訪問亚搏手机版APP 官方網站!
全國服務: 13761297466
上海:021-51089942
北京: 010-59797246
位置:首頁 > 產品展示
URE-2000/A12大麵積自動光刻機
產品型號:
產品產地:
發布日期:2020-05-20
瀏覽次數:
谘詢電話:021-51089942
關 鍵 詞:
下一個產品 上一個產品

詳細介紹

URE-2000/A12大麵積自動光刻機

產品技術特征

l、曝光波長采用純淨365nm,冷光照明(曝光麵能量大於10mW/cm,溫度小於30℃);

2、采用1000W進口(德國歐司朗直流汞燈,光能量密度可調);

3、采用創新技術——積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應實現均勻照明;

4、采用自動控製的自動找平方式,無論大片、小片、非標片均可實現高精度調平;

5、自動分離對準間隙和消除曝光間隙;

6、高倍率顯微鏡和22英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程;既可通過顯微鏡目鏡觀察對準,也可通過“CCD+顯示器”觀察對準,不僅可滿足高精度對準功能,又可用於檢測曝光結果;

7、電機機構、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重複性好;

8、對準完成自動消除曝光間隙,無橫向漂移且可通過監視器觀察;

9、快門可以單獨開啟,也可以數字設定自動倒計時曝光(設定範圍0.1s-9999.9s);

10、設備外形美觀精製,性能非常可靠;設備主體材料經過防鏽處理,經久耐用;

11、可數字設定對準間隙和曝光間隙;

12、上下片、版十分方便,自動化程度高,操作簡便;

二、設備主要技術指標:

(1)曝光麵積:300mm×300mm可兼容;

(2)分辨力:2μm;

(3)對準精度:±2μm;

(4)掩模尺寸:7英寸、9英寸、13英寸;

(5)樣片尺寸:6英寸、8英寸、12英寸;

(6)wafer chuck表麵:防止光反射塗層;

(7)掩模樣片整體運動範圍:X:10mm;Y:10mm;

(8)掩模相對於樣片運動行程:X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6°;

(9)汞燈功率:1000W(直流);

(10)曝光能量密度:≥ 10mW/cm;

(11)曝光峰值波長:365nm;

(12)光源平行度:<2°;

(13)曝光方式:定時(倒計時方式0.1s—9999.9s);

(14)光刻版夾具兼容性;

應用領域

集成電路芯片、電子封裝、微電子機械係統、微光學元件、紅外探測器生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻,波導陣列光刻、液晶顯示聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤刻劃等。


官方網址

微信公眾號
上海辦公室
地    址:上海市普陀區金邁路1號上海陸交中心大廈411室  
聯係人:周經理
手 機:18616884288
電 話:021-51089942 51863098
傳    真:021-51564099
郵    箱:siyouyen@163.com  

北京辦公室
地 址:北京市房山區月華大街1號盛通廣場8樓
聯係人:曹經理
手 機:15201545018
電 話:010-59797246 59795046
傳 真:010-52282969
郵 箱:siyouyen@126.com

Copyright  ©  2020-2030   亚搏手机版APP   All Rights Reserved.   騰雲建站僅向商家提供技術服務 網站地圖 備案號:滬ICP備16030867號-3
Baidu
map