URE-2000/A12大麵積自動光刻機

產品技術特征

l、曝光波長采用純淨365nm，冷光照明（曝光麵能量大於10mW/cm，溫度小於30℃）；

2、采用1000W進口（德國歐司朗直流汞燈，光能量密度可調）；

3、采用創新技術——積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應實現均勻照明；

4、采用自動控製的自動找平方式，無論大片、小片、非標片均可實現高精度調平；

5、自動分離對準間隙和消除曝光間隙；

6、高倍率顯微鏡和22英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程；既可通過顯微鏡目鏡觀察對準，也可通過“CCD+顯示器”觀察對準，不僅可滿足高精度對準功能，又可用於檢測曝光結果；

7、電機機構、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重複性好；

8、對準完成自動消除曝光間隙，無橫向漂移且可通過監視器觀察；

9、快門可以單獨開啟，也可以數字設定自動倒計時曝光（設定範圍0.1s-9999.9s）；

10、設備外形美觀精製，性能非常可靠；設備主體材料經過防鏽處理，經久耐用；

11、可數字設定對準間隙和曝光間隙；

12、上下片、版十分方便，自動化程度高，操作簡便；

二、設備主要技術指標：

(1)曝光麵積：300mm×300mm可兼容；

（2）分辨力：2μm；

（3）對準精度：±2μm；

（4）掩模尺寸：7英寸、9英寸、13英寸；

（5）樣片尺寸：6英寸、8英寸、12英寸；

（6）wafer chuck表麵：防止光反射塗層；

（7）掩模樣片整體運動範圍：X：10mm;Y:10mm；

（8）掩模相對於樣片運動行程：X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6°；

（9）汞燈功率：1000W（直流）；

（10）曝光能量密度：≥ 10mW/cm；

（11）曝光峰值波長:365nm；

（12）光源平行度：＜2°；

（13）曝光方式：定時（倒計時方式0.1s—9999.9s）；

（14）光刻版夾具兼容性；

應用領域

集成電路芯片、電子封裝、微電子機械係統、微光學元件、紅外探測器生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻，波導陣列光刻、液晶顯示聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤刻劃等。