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URE-2000A/55自動對準移動掩模光刻機
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發布日期:2020-05-20
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詳細介紹

自動對準移動掩模光刻機

型號:URE-2000A/55

主要技術指標:

曝光麵積:Ф100mm

分辨力:0.05μm

對準精度: ≤±0.5μm

最大膠厚:

掩模尺寸:5 inch

樣片尺寸:直徑Ф30mm-- Ф150mm

照明均勻性:±3%

汞燈功率:1000W(直流)

掩模相對於樣片運動行程:±8mm


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