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URE-2000A/55自動對準移動掩模光刻機
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發布日期：2020-05-20
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詳細介紹

自動對準移動掩模光刻機

型號：URE-2000A/55

主要技術指標：

曝光麵積：Ф100mm

分辨力：0.05μm

對準精度： ≤±0.5μm

最大膠厚：

掩模尺寸:5 inch

樣片尺寸：直徑Ф30mm-- Ф150mm

照明均勻性：±3%

汞燈功率：1000W（直流）

掩模相對於樣片運動行程：±8mm


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