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U2000D係列大麵積光製機
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發布日期:2020-05-20
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詳細介紹

RE-2000係列光刻機

型號:2000D(大麵積紫外光刻機)

一.技術特征

用途:在平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤等刻劃中具有突出的功能與用途。

技術特點:

1、采用3500W直流高壓汞燈;

2、 采用蠅眼透鏡實現高均勻照明;

3、 實現超大麵積光刻;   

4、采用CCD自動對準,自動化程度高;

5、性能可靠、操作方便。

主要技術指標:

1、 曝光麵積:430 mm×430 mm; 

2、分辨力:3μm;

3、對準精度:≤±1μm ;      

4、掩模尺寸:16英寸、17英寸、18英寸、20英寸;

5、照明均勻性:±10%(430 mm×430 mm範圍);

6、掩模相對於樣片運動行程:X: ±6mm; Y: ±6mm;θ: ±6度;


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